前期進氣要預處理到位，比如噴淋、過濾，等離子等，要進氣無固定污染物（否則燈管表面附著物過多短波紫外線很難透過），然后讓主要有機無機廢氣成份經過雙波段紫外線燈的光解反應區(qū)，然后讓氣體再經過254納米波長單波段光催化輔助反應區(qū)，在這個反應區(qū)一是光催化分解，另外更重要的一點是254nm波長紫外線會大量分解掉反應完過量的O3臭氧（困為排放到大氣中的O3也是一種污染原），使O3還原成氧氣，在末端再加上一至兩層臭氧催化網分解掉殘余的少量臭氧，這樣排放出來的空氣則潔凈如新.

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