無塵潔凈烘箱是一種新型可營造無氧的恒溫環(huán)境的電熱鼓風干燥箱，在加溫工作的同時充入氮氣，適用高溫易氧化產品烘烤，可滿足半導體電子、金屬、晶圓、油墨、醫(yī)療衛(wèi)生儀器、儀表，工廠，高等院校，科研部門等相關單位作生產烘實驗的需要。該烘箱采用不銹鋼工作室(滿涅制造、覆套不銹鋼加熱器加熱，充入惰性氣體，因此干娛箱內造成潔凈(可選裝耐高溫過濾器，達到潔凈無塵要求)和溫度均勻的微氧高溫環(huán)境(含氧濃度20-500PPM )，有助于提高產品質量，該箱外形美觀，使用方便控溫靈敏

無塵潔凈烘箱由外殼、烘烤區(qū)、加熱系統(tǒng)、轉子流量計，氣體減壓調節(jié)閥、排氣口等部件組成。箱體由簿鋼板加工焊接而成、烘烤區(qū)內壁選用不銹鋼板、箱體與內室之間填充硅酸鋁纖維作保溫材料。箱門與烘烤區(qū)邊框裝有保溫密封條(耐高溫門封條和迫緊裝置)因此有效地了箱體的密封性能、節(jié)約氮氣，洪烤區(qū)內配置抽動的三層載物網板( 可按需設計)。

無塵高溫箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

溫度設置1、設置溫度不可超過額定溫度，真空下物料燃點、沸點驟降，設置溫度不合理會造成固態(tài)物料熔融結塊等現象；2、數顯溫度需正常指示，若不顯示或出現閃爍、跳躍等異常需及時關閉電源并聯系儀器負責人；3、操作人員需待實際溫度與設置溫度一致，加熱指示燈熄滅后，方可離開；4、為避免控溫失靈，需有專人定時查看儀器運行是否正常，并留意烘烤物料變化情況，若發(fā)現異常需第D一時間關閉加熱、切斷電源、打開放氣閥門。

一般精密烘箱的內部循環(huán)方式有水平送風和垂直送風，為了達到內部無塵的環(huán)境，需要在出風口的位置增加高溫過濾裝置（又分為千級和百級過濾器）。烘箱內的空氣通過回風口后，一部分經過排氣口排除箱外，另外的經過循環(huán)通道再次加熱，后通過過濾器后回到工作室。除了過濾空氣外，另外要盡量避免工作過程中產生灰塵，需要選用的材料、電器。如加熱管需要在高溫下不能產生顆粒。

無塵烤箱的工作原理是通過利用熱沉降法來烤材料。當烤箱內部氣流流動時，熱量會被沉降到接近材料表面，而表面溫度則會逐漸提高，從而完成烤制過程。在烤箱內，熱量會被比較地混合和分散此熱量可以全面加熱材料的表面和內部，使整個材料得到均勻的加熱同時，由于熱量的比較均勻的分布，可以明顯降低蒸發(fā)現象，從而大大減少煙塵的排放。