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LCN-C型高純度電子半導(dǎo)體行業(yè)用制氮機

更新時間:2025-01-02 [舉報]
制氮機在電子半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用:
充氮回流焊及波峰焊,用氮氣可有效抑止焊錫的氧化,提高焊接潤濕性,加快潤濕速度,減少錫球的產(chǎn)生,避免橋接和減少橋接缺陷,得到較好的焊接質(zhì)量。使用氮氣純度大于99.99%。半導(dǎo)體器件制造工藝:晶體生長、等離子干刻、光刻、退火、搭連、燒結(jié)等,和電子元件生產(chǎn)過程:彩色顯像管、大規(guī)模集成電路、液晶、硅片等,均可使用氮氣作為保護氣和載氣。
電子半導(dǎo)體行業(yè)制氮機的原理:
電子半導(dǎo)體行業(yè)制氮機是根據(jù)變壓吸附原理,采用的碳分子篩作為吸附劑,工業(yè)現(xiàn)場制氮機是指在一定的壓力下,從空氣中制取氮氣。經(jīng)過純化干燥的壓縮空氣,在吸附器中進行加壓吸附、減壓脫附。由于空氣動力學(xué)效應(yīng),氧在碳分子篩微孔中擴散速率遠大于氮,氧被碳分子篩吸附,氮在氣相中被富集起來,形成成品氮氣。立方制氮機然后經(jīng)減壓至常壓,吸附劑脫附所吸附的氧氣等雜質(zhì),實現(xiàn)再生。立方制氮機一般在系統(tǒng)中設(shè)置兩個吸附塔,一塔吸附產(chǎn)氮,另一塔脫附再生,通過程序控制器控制氣動閥的啟閉,使兩塔交替循環(huán),以實現(xiàn)連續(xù)生產(chǎn)氮氣之目的。整套系統(tǒng)由以下部件組成:壓縮空氣凈化組件、空氣儲罐、氧氮分離裝置、氮氣緩沖罐。
電子半導(dǎo)體行業(yè)制氮機的工作流程
有碳分子篩的吸附塔共有A、B兩只立方制氮機。立方制氮機當潔凈的壓縮空氣進入A塔入口端經(jīng)碳分子篩向出口端流動時,立方制氮機的相關(guān)氣被其吸附,產(chǎn)品氮氣由吸附塔出口端流出。經(jīng)一段時間后,A塔內(nèi)的碳分子篩吸附飽和。立方制氮機這時,A塔自動停止吸附,壓縮空氣流入B塔進行吸氧產(chǎn)氮,對并A塔分子篩進行再生。立方制氮機分子篩的再生是通過將吸附塔迅速下降至常壓脫除已吸附的相關(guān)氣體來實現(xiàn)的。立方制氮機兩塔交替進行吸附和再生,完成氧氮分離,連續(xù)輸出氮氣。立方制氮機上述過程均由可編程序控制器來控制。立方制氮機當出氣端氮氣純度大小設(shè)定值時,通過程序作用,自動放空閥門打開,將不合格氮氣自動放空,確保不合格氮氣不流向用氣點。氣體放空時利用消聲使噪聲小于75貝分。?
空氣壓縮部分:空壓機、空氣儲罐;空氣凈化部分:除油器、精密過濾器、壓縮空氣干燥機、空氣緩沖罐、活性炭過濾器;制氮機主機部分:吸附塔、控制器、氮氣粉塵過濾器、氮氣儲罐,以壓縮空氣作為原料和動力,通過變壓吸附制取純度為95%~99.9995%的氮氣;氮氣純化部分:利用碳載純化裝置(加氫純化裝置)對99.9%的普氮進行提純,得到高純度氮氣(99.999%~99.9995%)。
標簽:制氮機電子半導(dǎo)體行業(yè)制氮機
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