江蘇啟東分子泵回收 江蘇啟東直拉式單晶爐回收
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直拉式單晶生長爐的制作方法、專利名稱：直拉式單晶生長爐的制作方法、技術領域：本發(fā)明涉及一種直拉式單晶生長爐。背景技術：圖1為切克勞斯基(直拉)法制造硅單晶的單晶爐剖面示意圖；圖1-2 中，l為爐筒，2為保溫蓋，3為保溫蓋，4為保溫材津牛，5為保溫罩，6為 加熱器，7為水套，8為石英堝，9為導流筒，IO為爐底護盤、12為輸 入管、11為分布有出氣孔11-1的環(huán)形氣體分布器、13為排氣口。直拉硅單晶在生長過程中需要向爐內不斷充入，并與爐內生成的 一氧化硅及雜質粉塵混合，由于單晶爐內的加熱器和坩堝支持器等均由石 墨制成， 一氧化硅易腐蝕所述石墨制成的器件且雜質粉塵易吸附在這些器 件上，從而影響了單晶爐的使用壽命。藍寶石長晶爐回收，多晶硅鑄錠爐回收，提拉式長晶爐回收，多晶長晶爐回收，臥式長晶爐回收，拉式單晶爐、收購直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，由于數(shù)值模擬提供了一個近似真實的過程，利用這一技術可以很容易的對任何類型的變化（幾何尺寸、保溫材料、加熱器、環(huán)境等）對晶體質量的影響做出容易的判斷。數(shù)值仿真是用來獲得廉價的，完整的和細節(jié)的結晶過程，以此方法用來預測晶體生長,改善晶體生長技術。舉例來說，對于無經驗人員，可以形象化展示熔體流動的歷史點缺陷和熱應力細節(jié)。所以數(shù)值仿真是一種達到較高生產率和較好滿足市場對晶體直徑，質量要求的辦法。面向過程的仿真軟件FEMAG為用戶提供了可以深入研究的數(shù)值工具,用戶通過有效的計算機模擬可以設計和優(yōu)化工作流程。通過對單晶爐熱場的仿真計算，優(yōu)化設計單晶爐的機械結構，在拉晶過程中以仿真結果設定合理的理論拉晶曲線可以在實際生產中是完全可以生長出合格的單晶硅棒。

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結合單晶爐提拉系統(tǒng)實際結構,進行了系統(tǒng)UG三維實體建模、動平衡數(shù)學建模、計算以及提拉系統(tǒng)動平衡仿真配平工作。系統(tǒng)動平衡分析、計算的結果明,提拉系統(tǒng)配平效果即動平衡效果是比較好的。隨后,針對某型號單晶爐提拉系統(tǒng)的實際結構,進行了提拉系統(tǒng)理論靜不平衡量的大小、相位計算,三維軟件UG建模計算和該設備“以動測靜”法的平衡實驗