熱風(fēng)循環(huán)烘箱帶有鼓風(fēng)電機，烘箱在加熱空氣的過程中，通過電機的轉(zhuǎn)動來帶動空氣的流動，產(chǎn)生一種熱風(fēng)循環(huán)的效果。加熱管的管壁在鼓風(fēng)的作用下，表面的溫度傳輸更快，使得烘箱工作區(qū)的升溫速度加快。熱風(fēng)循環(huán)烘箱同時具備熱風(fēng)循環(huán)和恒溫兩大功能。

石墨舟是用于半導(dǎo)體制造的一種重要的工具。它由石墨材料制成，用于在各種工藝中承載和傳輸硅片。石墨舟的維護對于確保其正常運行和延長使用壽命至關(guān)重要。

電熱鼓風(fēng)烘箱是用數(shù)顯儀表與溫度傳感器的連接來控制工作室的溫度，采用熱風(fēng)循環(huán)送風(fēng)來干燥物料，熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)分為水平送風(fēng)和垂直送風(fēng)，均經(jīng)過設(shè)計，風(fēng)源是由電機運轉(zhuǎn)帶動送風(fēng)風(fēng)輪，使吹出的風(fēng)吹在電熱管上，形成了熱風(fēng)，將熱風(fēng)由風(fēng)道送入電熱鼓風(fēng)烘箱的工作室，且將使用后的熱風(fēng)再次吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱，大大提高了電熱鼓風(fēng)烘箱溫度均勻性。如電熱鼓風(fēng)烘箱箱門使用中被開關(guān)，可借此送風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)迅速恢復(fù)操作狀態(tài)溫度值。